控制半导体制造设备的维护的方法

摘要

一种控制半导体制造设备的维护的方法，包括以下步骤：将从设备产生的维护数据与在主计算机中的预定参考数据进行比较；如果维护数据大于或等于参考数据，则显示擎告信息和停止设备运行。因此，该方法可以防止由于设备的无维护连续运行造成的运行故障。主计算机自动地定期通知操作人员对设备进行维护的时间。因而，维护可以定期地迅速地进行。结果，设备可以保持在最佳运行状态。

主权项

1.一种控制半导体制造设备的维护的方法，包括以下步骤：接收从所述半导体制造设备产生的第一维护数据；将所述接收到的第一维护数据与预先设定的第一参考数据进行比较；如果所述接收到的第一维护数据不小于所述预先设定的第一参考数据，则接收由所述半导体制造设备产生的第二维护数据；在接收所述的第二维护数据之后，确定是否对所述半导体制造设备进行维护；如果确定对所述的半导体制造设备不进行所述维护，则将所述接收到的第二维护数据和预先设定的第二参考数据进行比较；如果所述接收到的第二维护数据不小于所述第二参考数据，则互锁所述半导体制造设备，以停止所述半导体制造设备的运行。