微影装置及装置制造方法

摘要

本发明揭示一种使用反射镜之照明系统，场分段镜面反射镜的分段镜面将复数个来源影像聚焦在瞳分段镜面反射镜的各个分段镜面上以执行整合器的功能。一分段镜面遮罩装置系提供以选择性地遮挡场或瞳分段镜面反射镜的分段镜面。该分段镜面遮罩装置具有格栅，该格栅可选择性地介入投射光束内以提供中间照明设定值。该格栅的间距小于来源影像但是大于投射光束的的波长以不造成绕射。