| 摘要 |
一种压电驱动之流体泵，其包括有一个具有以软性薄膜形成之两个对向侧壁之泵室，以及一个入口及一个出口，其各由一个阀所调节。另外一个压电元件被固定到每个薄膜上，以使薄膜挠曲而使泵室容积增加或减少，因而可将流体抽到泵室或使流体从泵室中逐出。每个阀是由两个相邻之压电元件所形成，其在两个对向之末端上被支持或软性地结合在一起。当被驱动时，阀压电元件在两个对向末端之间向进行挠曲而打开阀，以形成两个压电元件之间的穿孔。在另一个实施例中，一个流体泵包括有具有一个具有一个软性薄膜侧壁之泵室。一个通过薄膜之阀进行调节之入口或出口穿孔可与泵室相连通。一个环状压电元件在薄膜上定位于穿孔周围之中心，以使薄膜产生挠曲。 |
