石英玻璃热喷洒构件及其制造方法

摘要

用于薄膜形成装置、电浆处理装置等等的构件，尤指由石英玻璃所形成之构件具有：装置由于沉积薄膜自构件掉落所产生粒子造成的内部污染之问题、由于构件对于其他构件之接合失效的密封降低之问题、以及由于构件之热绝缘失效的能量效率降低之问题。具有热喷洒石英玻璃薄膜形成于基板上之构件具有提高保持沉积物于其上之能力，且具有增加与其他构件之密封接合的能力。具有热喷洒的黑石英玻璃薄膜之构件具有提高热绝缘性质之能力。甚至是当以酸来予以清洗时，并未使构件的能力降低。此等构件能够使用于一段长的时间期间且其寿命长。