微机电系统方法

摘要

本发明揭示一种具有一悬臂梁的中尺度微机电系统（microelectro–mechanicalsystem；MEMS）元件，其系采用标准印刷线路板及高密度互连技术及实务而形成。该悬臂梁至少包含部分聚合物材料以构成其长度，而且在某些具体实施例中还包括一导电材料作为其承载组件。在不同具体实施例中，该悬臂梁系附在离其一端最近或离其一端最远的位置处。