基板搬运装置及基板处理装置

摘要

第二及第三的内部基板搬运装置（120）、（130）具有隔着水平搬运通路配置成大致对称的一对基板搬运部（120a）、（120b）、（130a）、（130b），基板搬运部，具备有：具有用来保持基板（G）的周缘的保持构件（111a）、（111b）的搬运臂构件（122a）、（122b）、用来调节搬运臂构件的相互间隔的臂间隔调节机构（123）、以及使臂间隔调节机构朝向基板搬运方向滑动的臂滑动机构（125）。当不是基板搬运时，会藉由将搬运臂构件（122a）、（122b）的相互间隔缩小来使第二内部基板搬运装置（120）退避到抗蚀剂涂敷装置（CT）（23a）与减压乾燥装置（VD）之间以减少装置的地面占有面积。