基板之搬移方法

摘要

本发明系关于即使是被薄型化之基板亦能持续维持其平坦性而进行搬移，并防止微粒附着于基板之基板之搬移方法，其设有：于第1基板保持机构保持基板之状态，其搬移装置将第3保持机构安装于前述基板之步骤；于第1基台保持前述基板之状态中，驱动第3基板保持机构，将基板保持于搬移装置，之后，解除第1基板保持机构对基板之保持，并进行自第1流体喷出机构喷出流体之步骤；由第1基台朝第2基台搬移前述基板，并将该基板安装于第2基板保持机构之步骤；于第3基台保持前述基板之状态中，驱动第2基板保持机构，并将基板保持于第2基台，之后，进行自第2流体喷出机构喷出流体，与解除第3基板保持机构对基板之保持之步骤。