基于工具对工具匹配目的之量测绕射信号调适

摘要

于积体电路量测中为了调适量测系统以用多种量测装置运作之方法及系统。一个实施例为用以产生讯号调整资料之方法及系统以调适测量的绕射讯号能够使用为不同量测装置建立之绕射讯号及结构轮廓之数据库。另一实施例为建立及利用绕射调整向量及量测装置规格相对于参考装置规格之资料库。