摘要 |
Matriz de microobturadores electrostáticos que presenta un alto factor de cobertura de grupo, que incluye una pluralidad de microobturadores de control electrostático (2), dispuestos en una matriz de filas y una o más columnas, en la que cada microobturador comprende: en la que dichos microobturadores (2) están dispuestos en filas, una sobre otra, con los substratos de los microobturadores (2) de cada fila mutuamente coplanarios y paralelos con los substratos de los microobturadores de las filas adyacentes.
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