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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING PHOTOLITHOGRAPHIC STRUCTURES,PARTICULARLY ON SEMICONDUCTOR CRYSTAL SURFACES
摘要
申请公布号 US3518083(A) 申请公布日期 1970.06.30
申请号 US19660599577 申请日期 1966.12.06
申请人 SIEMENS AG. 发明人 WOLFGANG TOUCHY
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/02 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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