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发明名称
摘要
申请公布号	JP3480208(B2)	申请公布日期	2003.12.15
申请号	JP19960328076	申请日期	1996.12.09
申请人		发明人
分类号	H01L29/786;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336	主分类号	H01L29/786
代理机构		代理人
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