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发明名称 METHODE UND VORRICHTUNG ZUR VERSCHIEBUNG EINER BEWEGLICHEN MASSE AUF EINER ELASTISCH GELAGERTEN UNTERLAGE
摘要
申请公布号 AT255730(T) 申请公布日期 2003.12.15
申请号 AT20000400435T 申请日期 2000.02.16
申请人 MICRO CONTROLE SA 发明人 DESAILLY, ROGER;LEVINE, JEAN;NGUYEN, VAN DIEP;MANEUF, SERGE
分类号 G05D3/12;G03F7/20;G05D3/00;(IPC1-7):G03F7/20;H01L21/68;B23Q1/30 主分类号 G05D3/12
代理机构 代理人
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