| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM COLUMN AND METHOD FOR DIRECTING A CHARGED PARTICLE BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003241427(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.12 |
| 申请号 |
AU20030241427 |
申请日期 |
2003.05.12 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
IGOR PETROV;ZVIKA ROSENBERG |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/147;H01J37/153;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/147 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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