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发明名称 HIGH PERFORMACE PROBE SYSTEM
摘要
申请公布号 AU2003237195(A1) 申请公布日期 2003.12.12
申请号 AU20030237195 申请日期 2003.05.07
申请人 FORMFACTOR, INC. 发明人 MATTHEW, E. CHRAFT;ROY, J. HENSON;CHARLES, A. MILLER;CHIH-CHIANG TSENG
分类号 G01R31/26;G01R1/073;G01R3/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073;G01R31/316 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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