| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003242422(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.12 |
| 申请号 |
AU20030242422 |
申请日期 |
2003.05.23 |
| 申请人 |
ANELVA CORPORATION |
发明人 |
HITOSHI NAKAGAWARA;SEIICHI IGAWA;YOSHIFUMI UNEHARA |
| 分类号 |
C23C14/56;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/68;B65G49/07 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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