| 发明名称 |
MULTI-PART ELECTRODE FOR A SEMICONDUCTOR PROCESSING PLASMA REACTOR AND METHOD OF REPLACING A PORTION OF A MUTLI-PART ELECTRODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003233655(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.12 |
| 申请号 |
AU20030233655 |
申请日期 |
2003.05.23 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
WILLIAM, S. KENNEDY;PETER LOEWENHARDT;DAVID TRUSSELL;ANDREAS FISCHER |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/509;C25B11/00;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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