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经营范围
发明名称
PLANETARY MAGNETRON
摘要
申请公布号
AU2003229318(A1)
申请公布日期
2003.12.12
申请号
AU20030229318
申请日期
2003.05.16
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
DANIEL, C. LUBBEN;PEIJUN DING;NIRMALYA MAITY;ILYOUNG, RICHARD HONG;JAMES, H. TSUNG;MICHAEL, ANDREW MILLER
分类号
C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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