发明名称 PLANETARY MAGNETRON
摘要
申请公布号 AU2003229318(A1) 申请公布日期 2003.12.12
申请号 AU20030229318 申请日期 2003.05.16
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 DANIEL, C. LUBBEN;PEIJUN DING;NIRMALYA MAITY;ILYOUNG, RICHARD HONG;JAMES, H. TSUNG;MICHAEL, ANDREW MILLER
分类号 C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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