| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR THE PLASMA TREATMENT OF WORKPIECES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003229286(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.12 |
| 申请号 |
AU20030229286 |
申请日期 |
2003.05.09 |
| 申请人 |
SIG TECHNOLOGY LTD. |
发明人 |
MICHAEL LITZENBERG;FRANK LEWIN;HARTWIG MULLER;KLAUS VOGEL;GREGOR ARNOLD;STEPHAN BEHLE;ANDREAS LUTTRINGHAUS-HENKEL;MATTHIAS BICKER;JURGEN KLEIN |
| 分类号 |
A61L2/14;B01J19/08;B05D7/24;B08B7/00;B08B9/42;B29C49/42;B65D23/02;B65G29/00;C03C17/00;C23C14/04;C23C14/50;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/511;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/54 |
主分类号 |
A61L2/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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