发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PLASMA TREATMENT OF WORK PIECES |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003229287(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.12 |
申请号 |
AU20030229287 |
申请日期 |
2003.05.09 |
申请人 |
SIG TECHNOLOGY LTD. |
发明人 |
KLAUS VOGEL;GREGOR ARNOLD;STEPHAN BEHLE;ANDREAS LUTTRINGHAUS-HENKEL;MATTHIAS BICKER;JURGEN KLEIN;MICHAEL LITZENBERG;HARTWIG MULLER |
分类号 |
B05D7/24;B08B7/00;B08B9/42;B29C49/42;B65D23/02;B65G29/00;C03C17/00;C23C14/04;C23C14/50;C23C14/56;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/511;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/04;B65G47/84 |
主分类号 |
B05D7/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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