| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING A MICROSYSTEM STRUCTURE WITH LATERAL GAPS AND CORRESPONDING MICROSYSTEM STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003273133(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.12 |
| 申请号 |
AU20030273133 |
申请日期 |
2003.04.11 |
| 申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) |
发明人 |
DOMINIQUE COLLARD;ANDREAS KAISER;EMMANUEL QUEVY;LIONEL BUCHAILLOT |
| 分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;H03H3/007;H03H9/24;(IPC1-7):H03H3/007;H03H9/46 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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