发明名称 主动板,液晶显示器及制造该主动板之方法
摘要 一种主动矩阵型液晶显示器之储存电容器,系形成具有一第二电极28,且备有复数指形件50以延伸通过第一电极10。储存电容器之汲极30及第二电极28可由单一金属层构成。汲极30之宽度及第二电极28之指形件50宽度容易因为制程中之任意程序变化而并行地改变,宽度并行地改变之特性则易抵消突跳电压之变化。
申请公布号 TW565875 申请公布日期 2003.12.11
申请号 TW091110649 申请日期 2002.05.21
申请人 皇家飞利浦电子股份有限公司 发明人 史提芬 查尔斯 狄恩
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种主动板,包含一基板;一第一金属层,系定义第一储存电容器电极沿着纵向延伸通过基板及进一步定义闸极;一第二金属层,系定义源极及汲极以及第二储存电容器电极;一半导体本体层,系形成薄膜电晶体本体于源极及汲极之间;及一绝缘层,系设于第一及第二储存电容器电极之间,其中第二储存电容器电极系由延伸通过第一储存电容器电极之复数指形件构成。2.如申请专利范围第1项之主动板,其中第二储存电容器电极之复数指形件系沿侧向延伸通过第一储存电容器电极之宽度。3.如申请专利范围第1或2项之主动板,其中指形件之宽度系在一半至二倍于汲极宽度之范围内。4.如申请专利范围第1或2项之主动板,其中第二金属层定义至少一元件以电连接于第二储存电容器电极之指形件。5.如申请专利范围第1或2项之主动板,其中半导体沿着纵向延伸通过闸极。6.如申请专利范围第1或2项之主动板,其中闸极系以实质上固定之宽度沿着纵向延伸通过基板。7.一种液晶显示器,包含申请专利范围第1或2项之一主动板、一被动板及主动与被动板之间之液晶。8.一种制造一主动板之方法,其包含以下步骤:使用一较低精确度图样化制程以沉积及图样化一第一金属层于一基板上,第一金属层系定义闸极及沿着纵向延伸通过基板之第一储存电容器电极;沉积一绝缘层;使用一较低精确度图样化制程以沉积及图样化一半导体本体层,而形成薄膜电晶体本体;及使用一较高精确度制程以沉积及图样化一第二金属层,第二金属层系定义源极及汲极以及第二储存电容器电极,其中第二储存电容器电极系经图样化以具有复数指形件延伸通过第一储存电容器电极。9.如申请专利范围第8项之方法,其中汲极系经图样化以延伸通过闸极之宽度。10.如申请专利范围第8或9项之方法,其中较高精确度制程系微影制程而较低精确度制程系印刷。图式简单说明:图1系一习知主动矩阵型液晶显示器之俯视图;图2揭示通过图1配置方式中之薄膜电晶体之截面;图3a至3e系以俯视图说明本发明实施例制造一主动板之制造步骤;图4系沿图3e所示主动板之截面B-B所取之侧视图;图5a至5d系本发明实施例与比较实例之一电容器电极型式之细部图;及图6系本发明液晶显示装置之简示侧视截面图。
地址 荷兰