| 主权项 |
1.一种由具备流量控制装置的气体供给设备之对于处理室的气体分流供给方法,属于将所定流量Q的气体G从具备流量控制装置的气体供给设备1经复数分岐供给线GL1.GL2及固定于其终端的喷气板3.4,以所定流量比Q1/Q2分流供给至处理室C内的方法,其特征为:在上述复数分岐供给线GL1.GL2介设压力式分流量控制器FV1.FV2,同时藉由来自将供给流量较大者的压力式分流量控制器的控制阀CV的开度作为全开的分流量控制盘FRC的初期流量设定信号,开始上述两分流量控制器FV1.FV2的开度控制,藉由分别调整上述控制阀CV的下游侧压力P3'、P3",通过设于喷气板3.4的孔口3a、4a,具有藉由式Q1=C1P3'及Q2=C2P3"(但是C1.C2是由孔口的断面积或孔口上游侧的气体温度所决定的常数)所表示的所希望分流量Q1.Q2,将总量Q=Q1+Q2的气体分流供给于上述处理室C内。2.如申请专利范围第1项所述的由具备流量控制装置的气体供给设备之对于处理室的气体分流供给方法,其中,在具备CPU的分流量控制盘FRC设置起动、停止信号输入端子T2,初期流量设定比信号输入端子T3,喷气板的组合识别信号输入端子T4,各压力式分流控制器FV1.FV2的控制流量信号输出端子T71.T72,藉由各压力式分流控制器FV1.FV2的流量设定输入信号与控制流量输出信号的偏差来发送信号的输出入异常警报输出端子T91.T92,同时在上述喷气板3.4的复数组合,将具有流量比Q1/Q2且总量Q=Q1+Q2的气体G流各喷气板3.4之际的各压力式分流控制器FV1.FV2的控制阀CV的下游侧压力Pa'、Pa",藉由上述Q1=C1P3'及C2P3"的演算式对于复数总流量Q以流量比Q1/Q2算出作为参数,将对于流量较大的压力式分流量控制器FV1的初期流量设定信号作为控制阀全开时的输入信号电压V0,同时将另一方的压力式分流量控制器FV2的初期流量设定信号作为上述P3"/P3'V0,然后,将各喷射板3.4的组合识别信号输入于上述输入端子T4,又将对于上述两压力式分流量控制器FV1.FV2的初期流量设定信号的比P3'/P3"输入于初期流量比设定信号输入端子T3之后,在将两压力式分流量控制器FV1.FV2的各控制阀CV作成全开状态的状态下,将来自气体供给设备1的气体供给流量Q设定成所希望流量,之后将起动信号输入至上述起动信号输入端子T2(步骤5),当起动信号的输入被确认时(步骤6),确认上述喷射板的组合识别信号及上述初期流量设定比信号的存否(步骤7),然后步地地以相同比率增加从上述初期流量设定比信号求出的两压力式分流量控制器FV1.FV2的初期流量设定信号V0.V0P3"/P3'(步骤8.10),校对该时的流量设定输入信号与控制流量输出信号的偏差(步骤9),若上述输出入偏差在设定范围内,则将对于各分流量控制器FV1.FV2的流量设定信号恢复到输出入偏差成为设定范围内的前一段的步进变化时的流量设定信号的数値(步骤11),继续以相同比率集总变化对于各分流量控制器FV1.FV2的流量设定信号(步骤13.14),同时连续地校对输出入信号的偏差(步骤15),集总变化时的输出入信号的偏差成为设定范围内,则将该时的流量设定信号固定保持作为对于各分流量控制器FV1.FV2的流量设定信号(步骤16),在该各流量设定信号下进行气体G的分流供给者。3.如申请专利范围第2项所述的由具备流量控制装置的气体供给设备之对于处理室的气体分流供给方法,其中,将流量设定信号的步进变化,从初期流量设定値(100%)每0.5秒钟依50%,30%、20%、10%及5%之顺序以相同比率步进地增加两流量设定信号者。4.如申请专利范围第2项所述的由具备流量控制装置的气体供给设备之对于处理室的气体分流供给方法,其中,将流量设定信号的集总变化,在0.5秒钟期间以相同比率增加两流量设定信号的10%者。5.如申请专利范围第2项所述的由具备流量控制装置的气体供给设备之对于处理室的气体分流供给方法,其中,输出入的偏差连续某一定时间以上而成为没有偏差,则将该时的各流量设定信号固走保持作为各分流量控制器FV1.FV2的流量设定信号者。6.如申请专利范围第1或第2项所述的由具备流量控制装置的气体供给设备之对于处理室的气体分流供给方法,其中,将压力式分流量控制器FV1.FV2的下游侧气体压作成100Torr以下;将线流量Q作成100SCCM至1600SCCM;将分流流量比Q1/Q2作成1/4.1/2.1/1.2/1.3/1及4/1者。7.如申请专利范围第1项或第2项所述的由具备流量控制装置的气体供给设备之对于处理室的气体分流供给方法,其中将分流流量Q1或Q2的较大者的压力式分流量控制器FV1或FV2的初期流量设定信号作成将其控制阀CV成为全开时的电力输入,同时将该控制阀CV的全开时的控制电压输入作成0v,又将控制电压范围作成0至5v者。8.如申请专利范围第2项所述的由具备流量控制装置的气体供给设备之对于处理室的气体分流供给方法,其中,将分流量控制盘FRC的各端子的输出入信号作成利用串列通信的输出入信号者。图式简单说明:第1图是表示说明本发明的由具备流量控制装置的气体供给设备之对于处理室的气体分流供给方法的整体系统图。第2图是表示压力式分流量控制器FV1的构成图。第3图是表示压力式分流量控制器FV1的流量设定信号与流量控制压力及流量输出信号的关系的特性曲线。第4图是表示在第1图的分流供给中,将使用的喷气板3.4的组合作为模型1时的两压力式分流量控制器的流量控制压力(P3'、P3")与全流量Q与分流比Q1/Q2的关系的线图(计算値)。第5图是表示将使用的喷气板3.4的组合作为模型2时的与第4图的相同关系的线图(计算値)。第6图是表示依说明对于处理室的气体分流供给方法的压力式流量控制装置的气体分流控制的流程图。第7图是表示使用习知的压力式流量控制装置FCS的对于处理室C的处理气体的供给方法的说明图。第8图是表示从单独的气体供给源S使用复数压力式流量控制装置将处理气体分流供给于处理室C时的说明图。第9图是表示从具备压力式流量控制装置的气体供给源使用控制阀将处理气体分流供给于处理室C时的说明图。 |
