发明名称 Halbleitervorrichtung mit einem Kontaktloch
摘要
申请公布号 DE19638684(C2) 申请公布日期 2003.12.11
申请号 DE1996138684 申请日期 1996.09.20
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 OHNO, YOSHIKAZU;SHINKAWATA, HIROKI;YOKOI, TAKAHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L21/8242;H01L23/485;H01L23/522;H01L27/108;(IPC1-7):H01L23/522;H01L23/532 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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