| 发明名称 |
HOCHGENAUES INTERFEROMETER MIT LICHTLEITERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69912608(D1) |
申请公布日期 |
2003.12.11 |
| 申请号 |
DE1999612608 |
申请日期 |
1999.06.09 |
| 申请人 |
STICHTING VOOR DE TECHNISCHE WETENSCHAPPEN, UTRECHT |
发明人 |
KLAVER, GERARDUS |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/24;G01B11/245;G01B11/255;G01M11/02;G03F7/20;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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