发明名称 DETACHABLE SUBSTRATE WITH CONTROLLED MECHANICAL HOLD AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 KR20030094338(A) 申请公布日期 2003.12.11
申请号 KR20037013312 申请日期 2002.04.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;B81C99/00;H01L21/02;H01L21/762;H01L27/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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