| 发明名称 |
Monomere,Polymere,Verfahren zu ihrer Synthese und Photoresistcompositionen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60101105(D1) |
申请公布日期 |
2003.12.11 |
| 申请号 |
DE2001601105 |
申请日期 |
2001.02.22 |
| 申请人 |
SHIPLEY CO., L.L.C. |
发明人 |
BARCLAY, GEORGE G.;YUEH, WANG;MATTIA, JOSEPH |
| 分类号 |
G03F7/027;C07C13/42;C07C29/40;C07C35/06;C07C35/08;C07C35/24;C07C35/27;C07C35/30;C07C35/37;C07C67/14;C07C67/347;C07C69/00;C07C69/013;C07C69/54;C07C69/753;C08F32/04;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C07C69/753;C08F20/12 |
主分类号 |
G03F7/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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