发明名称 | 显示装置 | ||
摘要 | 提供一种显示装置,在驱动电路等中具备用减小P-MOS TFT和N-MOS TFT的办法进行高集成化的C-MOS p-Si TFT。采用作为用来制作在显示装置中具备的C-MOS p-Si TFT的暴光掩模使用半色调掩模的自对准C-MOS工艺。由于使用半色调掩模,在P-MOS部分25和N-MOS部分26的结合部分处就不再需要位置对准,减少了光工艺次数,可以高集成化。 | ||
申请公布号 | CN1460979A | 申请公布日期 | 2003.12.10 |
申请号 | CN03121106.2 | 申请日期 | 2003.03.21 |
申请人 | 株式会社日立显示器 | 发明人 | 园田大介;金子寿辉 |
分类号 | G09G3/00;G09G3/32;G02F1/136 | 主分类号 | G09G3/00 |
代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 季向冈 |
主权项 | 1.一种显示装置,具有以下的构成:在上述显示装置的基板上具有C-MOS薄膜晶体管,上述C-MOS薄膜晶体管的P沟部分的栅极电极和N沟部分的栅极电极的宽度不同。 | ||
地址 | 日本千叶县 |