| 发明名称 | 静电驱动式微机械可变电感器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种静电驱动式微机械可变电感器，由平面螺旋电感和驱动器组成，平面螺旋电感和驱动器设在衬底上，驱动器为静电驱动器，该静电驱动器由控制电极和兼电极的悬臂梁组成，在控制电极上且处于控制电极和悬臂梁之间的位置设有绝缘介质层，在悬臂梁上至少设有2个触点，该触点位于平面螺旋电感的上方。当有外加直流驱动电压施加于静电驱动器时，悬臂梁在静电力的作用下发生弯曲。当直流电压增大到某一值时，悬臂梁自由端最外面的触点首先和平面螺旋电感相接触，此时输出一电感值；随着驱动电压的逐渐增大，悬臂梁自由端的触点依次和平面螺旋电感相接触，输出的电感值逐渐变小，实现输出电感可调。 | ||
| 申请公布号 | CN1461018A | 申请公布日期 | 2003.12.10 |
| 申请号 | CN03131650.6 | 申请日期 | 2003.05.30 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 黄庆安;郑惟彬;廖小平;孙莹 |
| 分类号 | H01F21/00;H02N1/00;B81B7/02 | 主分类号 | H01F21/00 |
| 代理机构 | 南京经纬专利代理有限责任公司 | 代理人 | 王之梓 |
| 主权项 | 1、一种静电驱动式微机械可变电感器，由平面螺旋电感(1)和驱动器组成，平面螺旋电感(1)和驱动器设在衬底(5)上，其特征在于驱动器为静电驱动器，该静电驱动器由控制电极(2)和兼电极的悬臂梁(4)组成，在控制电极(2)上且处于控制电极(2)和悬臂梁(4)之间的位置设有绝缘介质层(3)，在悬臂梁(4)上至少设有2个触点(6)，该触点(6)位于平面螺旋电感(1)的上方。 | ||
| 地址 | 210096江苏省南京市四牌楼2号 | ||