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发明名称 Process and apparatus for abating effluent gases
摘要
申请公布号 EP0861683(B1) 申请公布日期 2003.12.10
申请号 EP19980101650 申请日期 1998.01.30
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 STEARNS, RANALD;SYPHERD, GARY;ROBLES, STUARDO;GALIANO, MARIA
分类号 B01D53/56;B01D53/00;B01D53/70;C23C16/44;(IPC1-7):B01D53/56 主分类号 B01D53/56
代理机构 代理人
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