发明名称 | 浆液循环方法 | ||
摘要 | 浆液循环方法,该方法包括如下步骤:将含有硅粉尘的废浆液分离成主要含有磨料颗粒的分散体和主要含有硅粉尘的分散体,所述废浆液是在存在含有磨料颗粒和其中分散有磨料颗粒的分散介质的浆液下由切割硅坯料形成的;通过离心和/或蒸馏所述主要含有硅粉尘的分散体来回收分散介质;并用磨料颗粒或主要含有磨料颗粒的分散体和所回收的分散介质重新制备浆液。 | ||
申请公布号 | CN1460574A | 申请公布日期 | 2003.12.10 |
申请号 | CN03140908.3 | 申请日期 | 2003.05.23 |
申请人 | 夏普株式会社 | 发明人 | 梶本公彦 |
分类号 | B24B57/00 | 主分类号 | B24B57/00 |
代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 周承泽 |
主权项 | 1.浆液循环方法,该方法包括如下步骤:在存在含有磨料颗粒和其中分散有磨料颗粒的分散体介质的浆液下将切割硅坯料形成的含有硅粉尘的废浆液分离成主要含有磨料颗粒的分散体和主要含有硅粉尘的分散体;通过下述任一方法回收所述分散介质:(1)使用5000G或更大的离心力,离心分离主要含有硅粉尘的分散体;(2)使用低G的离心力然后使用较高G的离心力,离心分离主要含有硅粉尘的分散体;(3)离心分离并蒸馏主要含有硅粉尘的分散体;(4)蒸馏主要含有硅粉尘的分散体;使用磨料颗粒或者主要含有磨料颗粒的分散体重新制备浆液,并回收分散体介质。 | ||
地址 | 日本大阪府 |