发明名称 DEVICE FOR RECEIVING PLATE-SHAPED OBJECTS
摘要
申请公布号 KR20030093358(A) 申请公布日期 2003.12.06
申请号 KR20037014971 申请日期 2003.11.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/00;H01L21/68;H01L21/687 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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