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<p>Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken (5). Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer (4) einer Behandlungsstation eingesetzt und das Werkstück wird innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert. Zur Abdichtung eines Innenraumes des Werkstückes wird ein hülsenartiges Dichtelement (28) relativ zu einem Kammerboden (29) positioniert.</p> |
