发明名称 Poliergerät
摘要
申请公布号 DE69630495(D1) 申请公布日期 2003.12.04
申请号 DE19966030495 申请日期 1996.08.21
申请人 EBARA CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 TOGAWA, TETSUJI;SAKURAI, KUNIHIKO;KIKUTA, RITSUO
分类号 H01L21/304;B24B37/04;B24B51/00;B24B53/007;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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