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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Vorbeschichten einer Kammer zur Behandlung von Substraten
摘要
申请公布号 DE69812239(T2) 申请公布日期 2003.12.04
申请号 DE19986012239T 申请日期 1998.04.30
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 QIAO, JIANMIN;CHAN, CHIU;CHAN, DIANA;LEUNG, CISSY S.;SAHIN, TURGUT
分类号 H01L21/302;C23C16/40;C23C16/44;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/314;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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