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发明名称
Verfahren zur Herstellung einer dünnen Schicht und Vorrichung zur Durchführung dieses Verfahrens
摘要
申请公布号
DE69819298(D1)
申请公布日期
2003.12.04
申请号
DE1998619298
申请日期
1998.08.19
申请人
SHINCRON CO. LTD., TOKIO/TOKYO
发明人
SHIGEHARU, MATSUMOTO;KAZUO, KIKUCHI;MASAFUMI, YAMASAKI;QI, TANG;SHIGETARO, OGURA
分类号
H01L21/203;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/56;G02B1/12;(IPC1-7):C23C14/08;C23C14/14;C23C14/58
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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