| 发明名称 |
Me fühlervorrichtung und Verfahren zum Polieren eines Me fühlers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69812822(T2) |
申请公布日期 |
2003.12.04 |
| 申请号 |
DE1998612822T |
申请日期 |
1998.01.21 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
TAKEKOSHI, KIYOSHI |
| 分类号 |
B23Q3/155;G01R3/00;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28;G01N1/32;B24B37/04;B23Q7/10 |
主分类号 |
B23Q3/155 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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