Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken

摘要

Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken. Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer einer Behandlungsstation eingesetzt und das Werkstück wird innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert. Mindestens ein Betriebsmittel wird mindestens teilweise von einer Fördereinrichtung beaufschlagt, die gemeinsam mit der Behandlungsstation auf einem geschlossenen und umlaufenden Transportweg bewegt wird.