| 摘要 |
<p>Das verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken (5). Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer (17) einer Behandlungsstation (3) eingesetzt und das Werkstück wird innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement (46) positioniert. Das Werkstück wird durch mindestens zwei relativ zueinander positionierbare Klemmelemente (47,48) des Halteelementes derart beaufschlagt, dass das Werkstück von einem Klemmraum (54) zwischen den Klemmelementen aufgenommen wird.</p> |
