| 摘要 |
<p>Bei einem Verfahren zur Bestimmung von Wellenfrontaberrationen für die Charakterisierung von Abbildungseigenschaften eines optischen Abbildungssystems werden die Messergebnisse von zwei unterschiedlichen, zeitlich aufeinander folgend durchgeführten Messverfahren kombiniert. Dabei wird zumindest ein Teil der im vorangehenden ersten Messverfahren ermittelten Aberrationsparameter bei der Ermittlung von Aberrationsparametern mit Hilfe des zweiten Messverfahrens als gegeben vorausgesetzt und entsprechend verwertet. Dadurch wird ein Hybridverfahren geschaffen, bei dem die Stärken von mindestens zwei Messverfahren in Kombination genutzt und spezifische Schwächen der Verfahren vermieden werden können.</p> |
