Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken

摘要

Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken. Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer einer Behandlungsstation eingesetzt und das Werkstück wird innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert. Ein Anschluß der Kammer an mindestens eine Betriebsmittelversorgung wird von einem in der Nähe eines Kammerbodens angeordneten Ventilblock mit mindestens zwei Ventilen gesteuert.