| 发明名称 |
APPARATUS FOR THE THERMAL TREATMENT OF A SEMICONDUCTOR MATERIAL HAVING A VOLATILE COMPONENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3556732(A) |
申请公布日期 |
1971.01.19 |
| 申请号 |
USD3556732 |
申请日期 |
1968.01.31 |
| 申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP. |
发明人 |
HUNG CHI CHANG;TING LI CHU |
| 分类号 |
C30B13/00;C30B15/00;C30B15/02;(IPC1-7):B01D9/02 |
主分类号 |
C30B13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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