ROTARY MACHINE FOR CVD COATINGS

摘要

Um eine besonders effektive und schnelle CVD-Beschichtung von Werkstücken zu ermöglichen, sieht die Erfindung eine Rundläufervorrichtung (1) zur Behandlung, insbesondere für CVD-Beschichtungen vor, die - ein Förderkarrussell (3), - Behandlungsstationen (51, 52, ..., 5N), welche mit dem Förderkarussell transportiert werden, und -zumindest eine erste Pumpeinrichtung (71 - 74) aufweist. Dabei wird die erste Pumpeinrichtung (71 -74) mit dem Förderkarussell (3) transportiert.