| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Beschichtung von Hohlkörpern, insbesondere zur Innenbeschichtung von Kunststoffgetränkeflaschen mittels PICVD. Eine Aufgabe der Erfindung ist es, einen flexiblen Prozessablauf, einen hohen Durchsatz, eine verbesserte Fluidzuführung und eine qualitativ hochwertige Beschichtung zu gewährleisten. Es wird insbesondere eine Rundläufervorrichtung vorgeschlagen, welche eine Behandlungseinrichtung mit Doppelreaktoren zur Aufnahme zumindest je eines Werkstücks, eine Fluidversorgungsvorrichtung, und zumindest eine Fluidsteuereinrichtung, mittels welcher die Fluidversorgung der Behandlungseinrichtung steuerbar ist, umfasst. Vorzugsweise sind die Vakuumpumpen mitrotierend auf dem Rotor angeordnet.</p> |
