Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken

摘要

Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken. Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer einer Behandlungsstation eingesetzt und das Werkstück wird innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert. Das Werkstück wird durch mindestens zwei relativ zueinander positionierbare Klemmelemente des Halteelementes derart beaufschlagt, daß das Werkstück von einem Klemmraum zwischen den Klemmelementen aufgenommen wird.