光驱动型驱动器、光输出型电压传感器、及使用这两者的IC试验装置

摘要

一种IC试验装置，包括主框架和试验头，其中所述主框架容纳有：图形发生器、波形发生器和逻辑比较器等电子电路装置；所述试验头连接在自该主框架拉出的电缆的前端，在试验头侧配置光驱动型驱动器和光输出型电压传感器，在主框架侧设置将试验图形信号变换为光信号的光信号变换器和将光信号变换为电信号的光传感器，在主框架侧由光信号变换器将波形发生器输出的试验图形信号变换为光信号，使用光波导线路将该光信号向试验头传送，驱动设在试验头的光驱动型驱动器，将光信号变换为电信号提供给被试验IC。被试验IC输出的应答信号被提供给光输出型电压传感器，利用该光输出型电压传感器将被试验IC输出的电压信号作为光信号传送到主框架，利用光信号在主框架和试验头之间进行信号的授受，可以进行高速操作。

主权项

1、一种光驱动型驱动器，包括：多个光波导；多个光敏元件，每个光敏元件光连接到该多个光波导的相应一个的一端；多个直流，它们连接到输入电极，而这些输入电极连接到这些光敏元件的输入端；输出电极，所有光敏元件的输出端共同连接到该输出电极；以及终端电阻，形成在所述输出电极和用于外部连接的电极之间。