发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED-CIRCUIT DEVICE HAVING CAPACITOR OF CROWN-SHAPED STRUCTURE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20030091823(A) 申请公布日期 2003.12.03
申请号 KR20030033749 申请日期 2003.05.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242;H01L27/108;H01L21/02;H01L21/316 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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