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发明名称 Post-CMP washing liquid composition
摘要
申请公布号 EP1363321(A3) 申请公布日期 2003.12.03
申请号 EP20030010761 申请日期 2003.05.14
申请人 KANTO KAGAKU KABUSHIKI KAISHA;NEC ELECTRONICS CORPORATION 发明人 ABE, YUMIKO;OOWADA, TAKUO;ISHIKAWA, NORIO;AOKI, HIDEMITSU;TOMIMORI, HIROAKI
分类号 C11D1/00;C11D3/20;C11D7/26;C11D11/00;C11D17/08;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 C11D1/00
代理机构 代理人
主权项
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