行波管用的金刚石杆的制备方法

摘要

一种行波管用的金刚石杆的制备方法属于微波技术领域。该方法的特征在于：在的Al₂O₃杆上放置与其相同尺寸的Cu片，再放置于Al₂O₃衬底座上，在750～850℃温度下使前二者焊接在一起；将此衬底座H₂等离子体中清洗5-10min，微波功率300-400W，H₂流量40-60ml/min。金刚石成核条件：将微波功率提高至650W，CH₄/H₂(体积比)＝1∶5，总流量200ml/min，反应压力5.3×10³Pa，时间1h，射频偏压-100～-180V。金刚石生长条件：CH₄/H₂(体积比)＝1∶25，微波功率600～800W，反应压力4×10³Pa，关闭偏压，生长时间达70～120h。该方法工艺简单，价格便宜。

主权项

1.一种行波管用的金刚石杆的制备方法，其特征在于它由以下步骤组成： (1)在Al₂O₃杆上放置与其相同尺寸的Cu片，再放置于Al₂O₃衬底座上，在 750～850℃温度下使前二者焊接在一起；所述的Al₂O₃杆的尺寸为 1mm×1mm×60～100mm； (2)将此衬底座在H₂等离子体中清洗5-10min，微波功率300-400W，H₂流量 40-60ml/min； (3)金刚石成核条件：将微波功率提高至650W，CH₄/H₂体积比＝1∶5，总流量 200ml/min，反应压力5.3×10³Pa，时间1h，射频偏压-100～-180V； (4)金刚石生长条件：CH₄/H₂体积比＝1∶25，微波功率600～800W，反应压力 4×10³Pa，关闭偏压，生长时间达70～120h。