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经营范围
发明名称
Microlithographic projection illumination with tangential polarisation
摘要
申请公布号
EP1130470(A3)
申请公布日期
2003.12.03
申请号
EP20010101481
申请日期
2001.01.24
申请人
发明人
分类号
G02B19/00;G02B5/30;G02B17/08;G02B27/28;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20;G02B27/18
主分类号
G02B19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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