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发明名称 PRODUCTION METHOD FOR A SEMICONDUCTOR COMPONENT
摘要
申请公布号 KR20030092146(A) 申请公布日期 2003.12.03
申请号 KR20037014683 申请日期 2003.11.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/28;H01L21/321;H01L29/49 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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